国家/地区 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 B01(6)
IPC小类 B01J(6)
IPC C01B031/02(6) B01J019/08(4) B82Y040/00(4)
C23C016/26(4) B01J019/12(3) B82Y030/00(3)
H01L021/268(2)
发明人 CHOI I(2) CHOI I S(2) LEE K(2)
LEE K J(2)
公开年 2012(6)
申请年 2011(6)
专利权人 KOREA ADV IN.(2)