国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC C01B031/02(3) C23C016/26(3) C30B025/18(3)
H01L021/205(3) C23C016/34(2) H01L021/02(2)
H01L021/20(2) H01L029/16(2) H01L033/00(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2013(5)
申请年 2012(3)  2013(2) 
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)