国家/地区 德国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8) C01B(2) C10M(2)
F16C(2)
IPC C23C016/26(4) C01B032/186(2) C10M169/04(2)
C23C014/06(2) C23C016/44(2) C23C028/00(2)
F16C033/66(2)
发明人 CONRAN B R(2) LODERER D(2) MCALEESE C(2)
SEEMEYER S(2) TEO K B K(2)
公开年 2021(5) 2022(3)
申请年 2020(8)
专利权人 AIXTRON SE(2) KLUEBER LUBR.(2)