国家/地区 | 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(3) |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C23(7)![]() |
IPC小类 |
C23C(7)
H01L(4)
B32B(2)
B82Y(2) C01B(2) G03F(2) G06F(2) |
IPC |
C23C016/26(6)
C23C016/04(3)
B32B027/32(2)
B82Y040/00(2) C01B031/04(2) |
发明人 | |
公开年 |
2014(7)![]() |
申请年 | 2013(6) |
专利权人 |
OEZYILMAZ B, KAHYA O, OZYILMAZ B
XU K, MA F, MA D, LIAN L
SHIN H, CHOI J, HAN G, LEE Y