国家/地区 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7) H01L(4) B32B(2)
B82Y(2) C01B(2) G03F(2)
G06F(2)
IPC C23C016/26(6) C23C016/04(3) B32B027/32(2)
B82Y040/00(2) C01B031/04(2)
发明人
公开年 2014(7)
申请年 2013(6) 
专利权人