国家/地区 中国(9)
IPC部 B(9)
IPC大类 B32(9)
IPC小类 B32B(9)
IPC C23C016/26(7) B32B009/00(4) B32B015/01(3)
B32B015/20(3) B32B038/10(3) C01B032/186(3)
B32B009/04(2) B32B015/04(2) B32B037/00(2)
C01B031/04(2) C01B032/194(2) H01L029/16(2)
发明人 GUO H(2) JIANG W(2) YANG X(2)
YANG Y(2)
公开年 2017(6) 2018(2)
申请年 2016(9)
专利权人 ZHENJIANG BR.(2)