国家/地区 美国(12) 韩国(9) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(16)
IPC大类 C01(16)
IPC小类 C01B(16)
IPC C23C016/06(16)
发明人 NAGEL C J(5) BRODEUR C L(4) SHIN H(2)
公开年 2021(4) 2013(3) 2014(3) 2022(2)
申请年 2012(4)  2020(3)  2016(2)  2022(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(5) UNIV SUNGKYU.(3) KOREA ADVANC.(2) SAMSUNG ELEC.(2)