国家/地区 加拿大(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/26(6)
发明人 BEDWORTH P V(2) CHOI K(2) HEIGHT M(2)
HEISE S E(2) PARK H(2) PARK H G(2)
SINTON S W(2) SWETT J L(2)
公开年 2017(3) 2013(2)
申请年 2016(3) 
专利权人 HEIQ MATERIA.(2) LOCKHEED MAR.(2)