国家/地区 | 中国(5) 韩国(4) 美国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) |
IPC部 |
C(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)![]() |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
C23C016/44(8)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(8)![]() |
申请年 | 2012(6) 2013(2) |
专利权人 |
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K
CHAE S J, CHOI J Y, FETHULLAH G, LEE Y H, SHIN H J, YAO F
TIAN S, LI J, GU C, LI L, SUN W, XIA X