国家/地区 中国(6) 美国(6) 欧洲专利局(EPO)(3) 台湾(3) 世界知识产权组织(3) 印度(2)
IPC部 B(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C23C018/12(10)
发明人
公开年 2013(2) 2015(2) 2020(2)
申请年 2020(2) 
专利权人