国家/地区 | 韩国(4) 美国(4) 世界知识产权组织(3) 加拿大(2) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C016/00(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(5) |
申请年 |
2012(6)![]() |
专利权人 |
ARNOLD M S, GOPALAN P, SAFRON N S, KIM M, UNG K M
ZHANG W, LI Z, DU C, SHI H