国家/地区 中国(5) 韩国(4) 美国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C016/44(8)
发明人
公开年 2013(8)
申请年 2012(6)  2013(2) 
专利权人