国家/地区 美国(5) 日本(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 德国(2) 英国(2) 韩国(2) 台湾(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/02(6)
发明人
公开年 2013(6)
申请年 2012(3)  2013(2) 
专利权人

SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E