国家/地区 | 美国(5) 日本(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 德国(2) 英国(2) 韩国(2) 台湾(2) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C016/02(6)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(6)![]() |
申请年 | 2012(3) 2013(2) |
专利权人 |
YOSHII S, NOZAWA K, MATSUKAWA N
SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S