国家/地区 中国(5) 美国(5) 世界知识产权组织(5) 韩国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23F(7)
IPC C01B031/04(4) C01B032/184(3) C01B032/194(3)
B32B009/00(2) B33Y010/00(2) C01B032/186(2)
C23C016/26(2) C23F001/16(2) C23F001/18(2)
C23F001/30(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2016(7)
申请年 2015(4)  2016(2) 
专利权人