国家/地区 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(4) 美国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 韩国(3) 台湾(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC C01B031/04(4) C23C016/26(4) C30B029/02(4)
B82Y040/00(3) C01B032/186(3) B82B003/00(2)
B82Y030/00(2) C01B031/02(2) C01B032/182(2)
C23C016/02(2) C23C016/44(2) C30B025/18(2)
C30B029/36(2)
发明人
公开年 2015(5)
申请年 2014(3) 
专利权人