国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7)
IPC C01B032/186(3) C23C016/02(3) C23C016/26(3)
C30B029/02(3) C23C016/04(2) C23C016/34(2)
C30B025/02(2) C30B025/18(2) C30B029/38(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2021(6)
申请年 2020(7)
专利权人