国家/地区 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(3) 印度(2) 韩国(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7)
IPC H01L021/02(5) C30B029/40(4) C23C016/34(2)
C23C016/40(2) C30B029/02(2) C30B029/38(2)
H01B001/06(2)
发明人
公开年 2021(7)
申请年 2020(4)  2021(2) 
专利权人