| 国家/地区 | 中国(13) 世界知识产权组织(3) 美国(2) |
| IPC部 |
C(16)
B(3)
G(3)
H(2) |
| IPC大类 |
C23(16)
|
| IPC小类 |
C23C(16)
C25D(4)
C01B(2)
G03F(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C028/00(16)
|
| 发明人 |
LI X(3)
ZHANG J(3)
CHEN C(2)
DI Z(2) DONG L(2) GUO C(2) HE D(2) LAI H(2) LIU P(2) LIU X(2) TU C(2) XUE Z(2) ZHENG P(2) |
| 公开年 |
2018(16)
|
| 申请年 | 2018(9) 2017(4) 2016(3) |
| 专利权人 | GUANGZHOU UL.(2) SHANGHAI INS.(2) TAIWAN SEMIC.(2) |
DI Z, ZHENG P, DONG L, XUE Z
DI Z, ZHENG P, DONG L, XUE Z
XING Y, GAO J, LIU L, WU Z, HUANG P, SUN D, LIU X
MAVROEIDIS K, SIOZIOS A, PAPACHRISTOS V
ZHANG J, TONG L, TIAN H, ZHANG N
