国家/地区 加拿大(20)
IPC部 C(20) B(15) H(11)
A(3) D(2)
IPC大类 C23(20)
IPC小类 C23C(20)
IPC B82Y030/00(9) C23C016/26(9) B82Y040/00(6)
C01B031/04(5) C01B031/02(4) C01B032/182(4)
C01B032/186(4) C01B032/194(4) C23C016/04(4)
B01J019/08(3) C23C016/02(3) C23C016/44(3)
C23C016/455(3) C23C016/56(3) H01L021/02(3)
发明人 BEDWORTH P V(2) CHOI K(2) HEIGHT M(2)
HEISE S E(2) PARK H(2) PARK H G(2)
SINTON S W(2) SWETT J L(2)
公开年 2021(8) 2017(3) 2013(2) 2015(2)
申请年 2020(6)  2016(3)  2012(2)  2014(2)  2021(2) 
专利权人 HEIQ MATERIA.(2) LOCKHEED MAR.(2) UNIV OHIO(2)