国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(4) H01L(3)
G03F(2)
IPC C23C016/26(6)
发明人 BYUN K(2) BYUN K E(2) LI Y(2)
SHEN X(2) SHIN H(2) SHIN H J(2)
SHIN K(2) SHIN K W(2)
公开年 2022(6)
申请年 2021(5) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)

KIM S, BYUN K, CHO Y, SHIN K, LEE E, LEE C, SONG H, SHIN H, YOON J, LEE S, LIM H, BYUN K E, CHO Y C, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, SHIN H J, SU Y J, LEE S Y, LIM H S, LI Z, YOUN J, SHEN X, LI C, LI Y, ZHAO L, JIN S