国家/地区 美国(18)
IPC部 C(18)
IPC大类 C01(18)
IPC小类 C01B(18)
IPC C23C016/26(13) C01B032/186(12) C01B032/182(10)
B82Y030/00(7) B82Y040/00(7) C01B032/184(5)
C01B032/194(5) C23C016/02(5) C23C016/46(4)
C01B031/04(3) C23C016/54(3) H01L021/02(3)
H01L029/16(3) H01M004/62(3) C01B032/15(2)
发明人
公开年 2018(10) 2017(7)
申请年 2017(18)
专利权人