国家/地区 中国(10) 美国(3)
IPC部 C(12)
IPC大类 C23(12)
IPC小类 C23C(12) C25D(11) H01L(2)
IPC C23C028/00(12)
发明人 GUO C(5) LAI H(5) CHEN M(3)
XIA L(2)
公开年 2021(12)
申请年 2021(9)  2020(3) 
专利权人 GUANGZHOU UL.(4)