国家/地区 美国(15) 世界知识产权组织(12) 日本(11) 中国(8) 欧洲专利局(EPO)(7) 韩国(6) 台湾(5) 新加坡(4) 加拿大(2) 西班牙(2)
IPC部 C(17)
IPC大类 C01(17)
IPC小类 C01B(17)
IPC C01B031/02(17)
发明人 CHIBA Y(2) HASHIMOTO K(2) KAMIYA K(2)
NAKANISHI S(2)
公开年 2013(17)
申请年 2012(10)  2013(4)  2011(3) 
专利权人 JX NIPPON MI.(3) HASHIMOTO K(2) JAPAN SCI T.(2) JAPAN SCI TE.(2)
KAMIYA K(2) NAKANISHI S(2) NIPPON MININ.(2) PANASONIC CO.(2)
SEMICONDUCTO.(2) UNIV SINGAPO.(2)