国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C01B032/186(4) C30B025/18(4) C30B029/02(4)
C01B031/04(3) B82Y040/00(2) C01B032/184(2)
C01B032/194(2) C23C014/34(2) C23C016/01(2)
C23C016/26(2) C23C028/00(2) C30B029/64(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(4) 2017(3)
申请年 2016(7)
专利权人