国家/地区 日本(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C01B031/02(7) C30B029/02(6) B82Y040/00(3)
C30B029/68(3) B82Y030/00(2) C01B031/04(2)
C23C016/26(2) C30B001/02(2) C30B025/18(2)
C30B029/64(2) H01L021/20(2)
发明人
公开年 2013(4) 2014(2)
申请年 2012(7)
专利权人