国家/地区 美国(8)
IPC部 C(8) H(4) B(3)
IPC大类 C30(8)
IPC小类 C30B(8)
IPC C30B029/02(5) C01B031/04(4) C01B032/182(3)
C23C016/26(3) C01B032/186(2) C01B032/194(2)
C30B029/14(2) C30B029/60(2) C30B029/64(2)
H01M004/02(2) H01M004/587(2)
发明人 MIWA T(2) MOMO J(2) NOMOTO K(2)
公开年 2016(8)
申请年 2015(8)
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)