国家/地区 中国(3) 韩国(3) 美国(3) 台湾(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/04(4) B82Y040/00(3) C01B031/02(3)
G03F007/00(2) G03F007/004(2)
发明人
公开年 2013(5)
申请年 2012(6)
专利权人