国家/地区 中国(4) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6) G06F(4) B82Y(3)
C23C(2) G06K(2) H01L(2)
IPC C01B032/184(6)
发明人
公开年 2022(6)
申请年 2022(6) 
专利权人