国家/地区 美国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 B01(7)
IPC小类 B01J(7)
IPC C01B031/04(7) C01B031/02(6) C23C016/26(4)
B82Y040/00(3) B01J019/12(2) B01J019/18(2)
B01J019/22(2) B82Y030/00(2) C01B032/186(2)
C23C016/02(2) C23C016/455(2) C23C016/54(2)
H01J037/32(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2014(6)
申请年 2013(7)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2) UNIV SUNGKYU.(2)