国家/地区 | 中国(4) 日本(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 | B(6) C(6) |
IPC大类 |
B32(6)![]() |
IPC小类 |
B32B(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2017(6)![]() |
申请年 | 2016(5) |
专利权人 |
PARK H G, HEIGHT M, CHOI K, PARK H
FARQUHAR J J, SEAH C M, CHOON M S
XIONG D, CAO M, TAN Z, FAN G, LI Z, ZHANG D
YANG Y, YANG X, GUO H, JIANG W
JOHNSON B Y, LIU X, MAZUMDER P
AOTA NATSUKO, AIDA HIDEO, TACHIBANA MASARU, MORISAKO SHIYO, AOTA N, AIDA H, TACHIBANA M, MORISAKO S