国家/地区 美国(5) 世界知识产权组织(3) 德国(2) 韩国(2) 台湾(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 B82(5)
IPC小类 B82B(5)
IPC B82B003/00(4) B82Y040/00(4) C01B031/04(4)
B82Y030/00(3) C01B031/02(3) C23C016/26(3)
H01L021/02(3) B32B009/00(2) B82B001/00(2)
B82Y010/00(2) C01B032/182(2) C01B032/186(2)
C30B025/18(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2013(5)
申请年 2012(4) 
专利权人