国家/地区 美国(8) 韩国(7) 世界知识产权组织(6) 欧洲专利局(EPO)(5) 中国(4) 日本(3) 新加坡(2) 台湾(2)
IPC部 B(10)
IPC大类 B82(10)
IPC小类 B82B(10)
IPC B82B003/00(9) B82Y040/00(7) C01B031/02(7)
C01B031/04(6) B82Y030/00(5) B82B001/00(4)
C01B032/184(3) C23C016/26(3) H01L021/02(3)
H01L029/16(3) B82Y010/00(2) B82Y099/00(2)
C01B031/00(2) C01B032/186(2) H01B001/04(2)
发明人
公开年 2012(10)
申请年 2012(10)
专利权人