国家/地区 |
台湾(12)![]() |
IPC部 |
C(12)
H(8)
B(6)
|
IPC大类 |
C01(12)
H01(8)
B82(4)
B01(2) C07(2) C08(2) C09(2) C23(2) C30(2) H05(2) |
IPC小类 |
C01B(12)![]() |
IPC |
C01B032/182(7)
B82Y040/00(4)
B82Y030/00(3)
C01B032/194(3) H01L021/02(3) H01L029/16(3) H01L029/78(3) C01B032/186(2) C23C016/455(2) H01L021/336(2) H01L029/10(2) |
发明人 | |
公开年 |
2022(12)![]() |
申请年 |
2022(12)![]() |
专利权人 | TAIWAN SEMIC.(3) |
YANG W, LI X, WANG Z, FENG X, HAN X, XU R, LIU C, YUAN Z, QIAO J
KU T, HSIEH C, LI J, GU D, XIE Z, LI Z
TSUJIMOTO H, KOBUNE T, LI L, LEE L, KOBUNEDAKAKI
DIXON S, KAINTH J, JAGT R, GUINEY I, BADCOCK T J
ARNOLD M S, JACOBBERGER R M, GOPALAN P, DWYER J H
BOSNVAK C P, SWOGGER K W, LOWDER S, IVANOVA O, BOSNYAK C P
SUI X, LI M, CHUNG C, LU M, YANG S, SHUE S, LEE M
ITAMI K, ITO H, MATSUSHIMA K, NAKATSUJI H, UENO R, ISHIDA S, OKUDA S