国家/地区 | 韩国(6) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)
C01B031/02(3)
C01B032/186(3)
C01B031/04(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2) |
发明人 |
CHO K(2)
CHO K W(2)
CHOI H C(2)
LEE H C(2) YOO M S(2) |
公开年 | 2012(2) |
申请年 | 2011(2) |
专利权人 |
POSTECH ACADIND FOUND(6)![]() |
CHO K, YOO M S, LEE H C, CHO K W, ZHAO J, YU M, LI X
CHO K, YOO M S, LEE H C, CHO K W
JAE Y B, SE J K, HYUN J S
CHOI H C, KIM H K, SONG I T
SON M H, SONG H J, CHOI H C
HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H