国家/地区 韩国(6) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/26(4) C01B031/02(3) C01B032/186(3)
C01B031/04(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 CHO K(2) CHO K W(2) CHOI H C(2)
LEE H C(2) YOO M S(2)
公开年 2012(2)
申请年 2011(2) 
专利权人 POSTECH ACADIND FOUND(6)

HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H