国家/地区 德国(6)
IPC部 C(6) H(5) B(3)
G(2)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B032/182(6)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2) THOMAS S(2)
公开年
申请年 2014(2) 
专利权人 AIXTRON SE(2)