国家/地区 美国(11) 日本(9) 中国(8) 韩国(8) 世界知识产权组织(7) 欧洲专利局(EPO)(6) 台湾(4) 加拿大(3) 新加坡(2)
IPC部 B(11) C(11) H(9)
A(3)
IPC大类 C01(11) B82(9) H01(9)
B32(4) A61(2) B01(2)
C08(2)
IPC小类 C01B(11)
IPC C01B032/182(11)
发明人 KOKUNI T(2) OGUNI T(2) TODORIKI H(2)
TODOROKI H(2)
公开年 2012(11)
申请年 2012(6)  2011(5) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(3)