国家/地区 美国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) H01(4) B01(2)
IPC小类 C01B(8)
IPC C01B032/23(8)
发明人 OGUNI T(2) YAMAKAJI M(2)
公开年 2021(5) 2022(3)
申请年 2021(8)
专利权人 SEMICONDUCTO.(3)