国家/地区 | 美国(5) 中国(4) 日本(4) 韩国(4) 台湾(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)
C23(5)
H01(2)
|
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/04(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(4) |
申请年 |
2021(5)![]() |
专利权人 |
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K