国家/地区 韩国(21)
IPC部 B(21)
IPC大类 B05(21)
IPC小类 C01B(21)
IPC C23C016/26(21)
发明人 LEE Y T(5)
公开年 2016(6) 2011(5) 2010(2) 2012(2) 2013(2)
申请年 2011(5)  2016(5)  2010(3)  2009(2) 
专利权人 LEE Y T(5) SAMSUNG ELEC.(2) UNIV SUNGKYU.(2)