国家/地区 美国(13) 韩国(7) 世界知识产权组织(6) 中国(5) 日本(5) 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 B(13)
IPC大类 C01(13)
IPC小类 C01B(13)
IPC C23C016/48(13)
发明人 NAGEL C J(5) BRODEUR C L(4)
公开年 2021(4) 2012(2) 2016(2) 2022(2)
申请年 2020(3)  2011(2)  2014(2)  2022(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(5)