国家/地区 美国(8) 日本(6) 韩国(4) 德国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12) H01(6) B32(3)
B05(2) B82(2) D01(2)
IPC小类 C01B(12)
IPC C01B031/04(8) C01B031/02(5) C01B031/00(4)
B05D003/02(2) C01B003/00(2) D01F009/12(2)
H01L021/28(2) H01L021/3205(2) H01L023/52(2)
H01L029/06(2)
发明人 JANG B Z(4) ZHAMU A(4) LEE J(2)
公开年 2010(12)
申请年 2008(12)
专利权人 JANG B Z(4) NANOTEK INST.(4) ZHAMU A(4) DOKURITSU GY.(2)