国家/地区 韩国(14) 美国(5) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(15)
IPC大类 C01(15) H01(4) C23(3)
A61(2) B32(2) C12(2)
IPC小类 C01B(15)
IPC C01B031/04(10) B32B037/00(2) C01B032/182(2)
C01B032/186(2) C23C014/06(2) C23C016/26(2)
H01L029/16(2)
发明人 HYEON T(5) KIM D(4) CHOI S(3)
LEE H(3) RUOFF R S(3) CHO K(2)
KIM S(2) KIM S O(2) LEE H Y(2)
公开年 2016(7) 2017(2) 2021(2) 2023(2)
申请年 2015(5)  2014(4)  2016(2) 
专利权人 BASIC SCI INST(15)