国家/地区 韩国(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(14) H01(4) C23(3)
A61(2) C12(2)
IPC小类 C01B(14)
IPC C01B031/04(9) C01B032/182(2) C01B032/186(2)
C23C014/06(2) C23C016/26(2) H01L029/16(2)
发明人 HYEON T(5) KIM D(4) CHOI S(3)
LEE H(3) CHO K(2) KIM S(2)
KIM S O(2) LEE H Y(2) RUOFF R S(2)
公开年 2016(6) 2017(2) 2021(2) 2023(2)
申请年 2015(5)  2014(3)  2016(2) 
专利权人 BASIC SCI INST(14)