国家/地区 中国(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12) G01(5) B82(2)
C23(2)
IPC小类 C01B(12)
IPC C01B032/186(12)
发明人 ZHANG H(12)
公开年 2018(4) 2017(3) 2021(3) 2023(2)
申请年 2017(3)  2018(3)  2020(2)  2022(2) 
专利权人 UNIV HARBIN .(4) INST SEMICON.(2)