国家/地区 | 中国(5) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C01B031/04(3)
C01B032/186(2)
C23C016/02(2)
C23C016/26(2) C23C016/56(2) |
发明人 |
ZHANG H(6)![]() |
公开年 | 2014(2) 2017(2) |
申请年 | 2014(2) 2017(2) |
专利权人 | UNIV NANYANG.(2) |
Device used e.g. for etching continuous substrate and graphene comprises feeding and etching device.
ZHANG H, LI T, TAN H
LOEBLEIN M, TSANG S H, TEO H T E, TSANG S, ZHANG H
CHEN Z, LI X, SUI Y, WANG B, ZHANG H, ZHANG Y, YU G
YIN Z, DU Z, ZHANG H, ZHU M