国家/地区 欧洲专利局(EPO)(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C01B032/16(8)
发明人 JOUVRAY A(2) LICHT S(2) TEO K B K(2)
公开年 2021(3) 2022(2)
申请年 2021(3)  2014(2)  2020(2) 
专利权人 AIXTRON SE(2) C2CNT LLC(2)