国家/地区 世界知识产权组织(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10) C23(10) B82(6)
B32(4) B05(3) H01(3)
B01(2) H05(2)
IPC小类 C01B(10)
IPC C23C016/00(10)
发明人
公开年 2013(2) 2015(2) 2016(2) 2017(2)
申请年 2012(3)  2015(3)  2016(2) 
专利权人