国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) C23(6) H01(3)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2021(3) 2022(3)
申请年 2021(6)
专利权人