国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B032/186(5) C23C016/01(5) C23C016/02(5)
C23C016/26(5) C23C016/34(5) H01G009/20(5)
B82Y030/00(4) B82Y040/00(4) H01L031/0224(4)
发明人 MAAROUF A A(5)
公开年 2023(2)
申请年 2022(3) 
专利权人 UNIV IMAM AB.(5)