国家/地区 | 美国(4) 韩国(3) 中国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C016/00(6)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(6)![]() |
申请年 | 2012(5) |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
ARNOLD M S, GOPALAN P, SAFRON N S, KIM M, UNG K M