国家/地区 | 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(2) 韩国(2) 新加坡(2) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C016/56(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) 2014(2) |
申请年 |
2013(6)![]() |
专利权人 |
WANG W, GUO S, OZKAN C S, OZKAN M
GAO Y, SONG J, WANG J, ZHANG H
CHOI J, YOO W, LEE S, LIM Y, CHOI J Y, LEE S H, LIM Y D, YOO W J
LOH K P, ZHANG K, CASTRO A H, LOH K
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A